產品中心
2.1 產品概述
產品用途：適用于濕化學品介質機械研磨CMP制程工藝供應設備；PP+PVC外殼+PFA管路；完整的系統解決方案;集成PLC和模塊化控制系統；原液Supply單元+Mix混合單元；可根據用戶要求特殊定制；攪拌前后取樣
產品功能和原理：全自動供酸；可根據客戶需求提供額外配置；原液Slurry空桶預報切換；原液供應泵體一用一備；管道壓力檢測攪拌罐一用一備，泵體一用一備；簡潔系統，并支持多種語言；觸屏可顯示各顆閥的工作狀態及管路供液狀態；系統各部分運行狀態的預警及警報；多重安全性的自檢與確認；自動切斷供液；供液壓力過高，緊急切斷；支持多種信號輸入；裝備緊急按鈕。
優點：多級密碼保護;持續監控多種重要數據;根據監控數據自動作出安全處理
產品應用：產品廣泛應用于半導體芯片制造，平板顯示行業，LED 行業，太陽能電池，電子元器件制造等行業，主要用于濕化學品介質機械研磨CMP制程工藝供應。
關鍵詞：
機械研磨
濕化學品
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