產品中心
3.1 產品概述
產品用途：閥門分配箱(以下簡稱閥門箱，英文簡稱 VMB)是全封閉式的工藝氣體分配單元，用來二次調節工藝氣體的壓力和分配工藝氣體到工藝機臺，根據需要有半自動控制和手動操作兩種操作方式。
產品功能和原理：閥門箱主要由工藝閥門盤面、PLC 控制系統(僅半自動控制系列)、機柜、安全附件四部 分組成。工藝閥門盤面可以調節氣體的壓力和控制各支路氣體的通斷；半自動系列配有PLC控制系統，可以通過按鈕控制支路閥門開關；機柜為全密封設計，可以防止閥門箱內的有害氣體擴散到外部環境中，起到防護作用；根據輸送的氣體特性，設備內部配置有火焰探測器、高溫傳感器等安全附件，當設備內出現異常或故障時設備發出報警信號或自動停氣(僅半自助操作系列)，可以保證設備和環境的安全。
產品優點：半自動系列以按鈕操作控制閥門的通斷，設備配置有遠程監控接口，通過與上位機連接，可以遠程監視和控制支路的通斷，吹掃和排氣動作需要手動操作；手動系列全部動作均為人工操作。
產品應用：產品廣泛應用于半導體芯片制造，平板顯示行業，LED 行業，太陽能電池，電子元器件制造等行業，主要用于輸送有毒，易燃可燃，腐蝕性，氧化性高純氣體。
3.2 產品細分系列與配置
| 系列名稱 | 主要配置 | 適用工況 | 通用配置-半自動 | 通用配置-手動 | 通用參數 |
| (半自動/手 動)帶真空排氣,支路 過濾 系列 | 配置真空排 氣支路,配置支路 過濾器 | 適用于腐蝕性,毒 性,自燃性氣體,前后端系 統無過濾器的工況 | 按鈕+PLC控制; 遠程監控和緊急 關斷; 三色報警燈; 自動控制支路開關; 手動吹掃和真空 排氣(根 據具體配置); 配置主路擴展閥;配置支路 調壓閥。 | 全手動操作; 配置主路擴展閥; 配置支路調壓閥。 | 電源:AC22V50HZ (僅半自動); 設備尺寸:視詳細型號確 定; 閥門管件規格:尺寸規格 視詳細型號確定,EP。 |
| (半自動/手 動)帶真空排氣,無支 路過 濾系列 | 配置真空排 氣支路,無支路過 濾器 | 適用于腐蝕性,毒 性,自燃性氣體,前后端系 統有濾器的工況 | |||
| (半自動/手 動)無真空排氣,帶支 路過 濾系列 | 無真空排氣 支路,配置支路過 濾器 | 適用于非毒性,腐 蝕性,自燃性等非 高危氣體, 前后端系統無過濾器的工 況 | |||
| (半自動/手 動)無真空排氣,無支 路過濾系列 | 無真空排氣 支路,無支路過濾 器 | 適用于非毒性,腐 蝕性,自燃性等非 高危氣體, 前后端系統有過濾器的工 況 |
關鍵詞：
閥門分配箱
全封閉式
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