產品中心
2.1 產品概述
產品用途：氣體輸送架(以下簡稱氣架，英文簡稱GR)是敞開式的工藝氣體氣源端的輸送設備，用來將鋼瓶中的高純惰性氣體輸送到后端的氣體分配單元，根據需要有半自動控制和手動操作兩種，半自動控制系列 可以實現不間斷供氣。
產品功能和原理：氣架主要由工藝閥門盤面、PLC 控制系統(僅半自動控制系列)、機架三部分組成。根據 工況選用單瓶供應或者雙瓶供應，雙瓶供應時，氣架內安裝兩個供氣鋼瓶，一用一備。工藝閥門盤面中的閥 門元件可以調節氣源的壓力和流量;半自動系列配有PLC 控制系統，可以監控設備運行狀況和自動切換供氣 鋼瓶，吹掃和排氣動作需要手動操作;手動系列全部動作均為人工操作，需要人工巡檢觀察鋼瓶剩余氣量和 手動切換供氣鋼瓶。
優點：半自助氣架以彩色觸摸屏為交互界面，操作方便，易于維護，設備頂部配有報警燈，便于巡檢人員觀察設備 運行狀態。設備配置有遠程監控接口，可以在廠務監控平臺中顯示設備運行狀態，剩余氣量等關鍵參數，并且可以遠程關斷操作。
產品應用：產品廣泛應用于半導體芯片制造，平板顯示行業，LED 行業，太陽能電池，電子元器件制造等行 業，主要用于輸送惰性高純氣體。
2.2 產品細分系列與配置
2.2.1 雙瓶惰性氣體氣架(可選半自動操作或手動操作)
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系列名稱 |
主要配置 |
適用工況 |
通用配置-半自動 |
通用配置-手動 |
通用參數 |
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（ 半自動/手動）雙瓶- 獨立 吹掃、高壓系列 |
配置獨立高壓保壓，吹掃功能的高壓氣架 |
適用于>600psi 的高壓對環境和人體有害的惰性氣體 |
觸摸屏+PLC 控制；遠程監控和緊急關斷；三色報警燈； 鋼瓶加熱，盤面管路加熱（根據氣體特性選擇配置）；鋼瓶電子秤（根據氣體特性擇配置）；自動切換；配置出口擴展閥； 手動吹掃和排氣。 |
鋼瓶加熱，盤面管路加熱（根據氣體特性選擇配置）； 鋼瓶電子秤（根據氣體特性選擇配置）；全手動操作； 配置出口擴展閥； |
電源：AC22V 50HZ（僅半自動）；設備尺寸：寬*高* 厚 =750*2050*600（半自動）；設備尺寸：寬*高*厚 =750*1755*600（手動）；閥門管件規格：1/4”，EP |
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（ 半自動/手動雙瓶- 獨立吹掃系列 |
配置獨立吹掃功能，無高壓保壓的氣架 |
適用于人體無害，但不能直接排放于環境的氣體 |
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（ 半自動/手動）雙瓶- 無吹掃系列 |
無獨立吹掃功能，無高壓保壓的氣架 |
適用于對環和人體完全無害的氣體，如 He 等 |
2.2.2 吹掃氣體氣架(適用于系統吹掃用氣體，如 Ar,PN2)
此系列氣架僅提供手動操作型號。
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系列名稱 |
主要配置 |
適用工況 |
通用配置 |
通用參數 |
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雙瓶- 中低 壓輸出 |
配置 250psi 輸出和150psi 輸出兩個出 口，雙調壓閥 |
適用于對低壓有 害工藝系統吹掃 和高壓保壓用 |
手動切換，手 動排放
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設備尺寸：寬*高 * 厚 = 750*1755*600； 閥門管件規格： 1/4”，EP
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雙瓶- 高低 壓輸出 |
配置鋼瓶壓力直接輸出和 150psi 輸出 兩個出口，單調壓閥 |
適用需要高壓保 壓和低壓吹掃的 工藝系統 |
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雙瓶- 單低 壓輸出 |
配置 150psi 輸出一個出口，單調壓閥 |
適用低壓吹掃的 工藝系統 |
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單瓶- 高低 壓輸出 |
配置鋼瓶壓力直接輸出和 150psi 輸出 兩個出口，單調壓閥 |
適用需要高壓保 壓和低壓吹掃的 工藝系統 |
手動排放
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設備尺寸：寬*高 * 厚 = 500*1755*600； 閥門管件規格： 1/4”，EP |
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單瓶- 單低 壓輸出 |
配置 150psi 輸出一個出口，單調壓閥 |
適用低壓吹掃的 工藝系統 |
關鍵詞：
氣體輸送架
不間斷供氣
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