
產(chǎn)品中心
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產(chǎn)品系列
產(chǎn)品用途:全自動(dòng)化學(xué)品供酸柜(以下簡稱全自動(dòng)化學(xué)品柜,英文簡稱(CDM)是全封閉式的化學(xué)品輸送設(shè)備,適用于濕化學(xué)品介質(zhì)輸送,用來容器中的化學(xué)品輸送到后端的分配單元,為全自動(dòng)控制,并且能實(shí)現(xiàn)不間斷供應(yīng)。
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產(chǎn)品用途:適用于濕化學(xué)品介質(zhì)稀釋系統(tǒng)(TMAH2.38%),將原液25%原液稀釋混配至2.38%一號(hào)標(biāo)準(zhǔn)液;PP+PVC外殼+PFA管路;完整的系統(tǒng)解決方案;集成PLC和模塊化控制系統(tǒng);原液Supply單元+Mix混合單元+稀釋Supply單元。
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產(chǎn)品用途:適用于濕化學(xué)品介質(zhì)機(jī)械研磨CMP制程工藝供應(yīng)設(shè)備;PP+PVC外殼+PFA管路;完整的系統(tǒng)解決方案;集成PLC和模塊化控制系統(tǒng);原液Supply單元+Mix混合單元;可根據(jù)用戶要求特殊定制;攪拌前后取樣
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產(chǎn)品用途:適用于酸堿類供液系統(tǒng)和有機(jī)試劑類供液系統(tǒng);2分支(Sticks)~8分支工藝管線,根據(jù)用戶要求特殊定制;依操作方式可分為三種控制方式:自動(dòng)/手動(dòng);PP+PVC外殼+PFA管路;配備漏液報(bào)警Sensor、負(fù)壓表等;主管帶擴(kuò)充閥/分支擴(kuò)充閥,視需求可供未來擴(kuò)充;VMB電控部分可與廠務(wù)中控系統(tǒng)銜接。
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