產品中心
4.1 產品概述
產品用途：適用于酸堿類供液系統和有機試劑類供液系統；2分支(Sticks)~8分支工藝管線，根據用戶要求特殊定制；依操作方式可分為三種控制方式：自動/手動；PP+PVC外殼+PFA管路；配備漏液報警Sensor、負壓表等；主管帶擴充閥/分支擴充閥，視需求可供未來擴充；VMB電控部分可與廠務中控系統銜接。
產品功能和原理：用于分配CDM輸出介質分配兩臺或以上設備閥門操作箱；可根據客戶需求定義多種吹掃程序；管路水洗、吹掃；增加運行、報警、泄露指示燈；如有緊急狀況可自動切斷供液源。
優點：多級密碼保護；持續監控多種重要數據；如有緊急狀況可自動切斷供液源。
產品應用：產品廣泛應用于半導體芯片制造，平板顯示行業，LED 行業，太陽能電池，電子元器件制造等行業，主要適用于適用于酸堿類供液系統和有機試劑類供液系統。
關鍵詞：
供液系統
工藝管線
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